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德國Heidelberg μPG 101 激光掩膜繪圖機

  • 品牌:德國海德堡
  • 型號: μPG 101
  • 產地:德國
  • 供應商報價: 面議
  • 寫入速度高達90毫米2/分鐘

    基板6 x 6”

    降至0.6μm結構

    標準或紫外光源[查看全部]
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深圳市藍星宇電子科技有限公司

主營產品:光刻機/3D打印機,鍍膜沉積機,離子刻蝕與沉積系統,半導能檢測儀器,UV清洗設備

詳細介紹

德國海德堡 激光直寫光刻機μPG 101

適合用于科研領域
臺式激光直寫機
操作簡單,可支持灰度光刻



μPG101是一款經濟實惠且易于操作的圖形發生器,適用于直寫和少批量的掩模板制作。該系統可用于MEMS、Bio MEMS、Integrated Optics、Micro Fluidics或任何其他需要高精度、高分辨率微結構的制作。

μPG101的面積僅為60x75cm2,設計精巧,將所有電子組件集成在系統中,由系統控制主機運作。基于Windows?的控制接口,使用戶可以輕松進行數據轉文件,經過手動或自動對準之后,即可開始曝光。

μPG101主要提供簡單快速的方式來創建微結構。系統可透讀寫模塊的更換,以滿足不用的分辨率和寫入速度的要求。它是市面上唯 一達到亞微米結構的桌上型光刻系統,即使是偏小網格,依然具有非常高精度的結構。實時自動對焦系統可在曝光期間實時監控和校正聚焦位置,從而確保整個曝光區域的高分辨率和可重復性。精密網格和實時自動對焦裝置是專業微圖型發生器的標準要求。

μPG101的應用包括 Life Science 、MEMS 、 Semiconductor 、Sensors、Actuators、MOEMS、Material Research、Nano-Tubes、Graphene以及任何其他需要微結構的應用。

功能

寫入速度高達90毫米2/分鐘

基板6 x 6”

降至0.6μm結構

標準或紫外光源

多種數據輸入格式

基本灰度曝光模式

對準攝像系統

多種可交換的寫模式

矢量和柵格曝光模式


產品優勢

寫入速度高達90毫米2/分鐘

基板6 x 6”

降至0.6μm結構

標準或紫外光源

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