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德國Heidelberg Heidelberg DWL 66+ 無掩模直寫機

  • 品牌:德國海德堡
  • 型號: DWL 66+
  • 產地:德國
  • 供應商報價: 面議
  • 科研用激光直寫系統
    具有多種直寫模塊,實現不同精度直寫需求
    能于結構上進行灰度曝光[查看全部]
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深圳市藍星宇電子科技有限公司

主營產品:光刻機/3D打印機,鍍膜沉積機,離子刻蝕與沉積系統,半導能檢測儀器,UV清洗設備

詳細介紹


DWL 66+激光光刻系統是具經濟效益的高分辨率圖像產生器,適用于小批量掩模板制作和直寫需求。該系統的功能和靈活性使其成為Life Science, Advanced Packaging, MEMS, Micro-Optics, Semiconductor以及所有其他需要微結構應用的刻研工具。DWL 66+的客戶群包括全球200多所頂尖大學和研究機構,許多系統功能是與這些機構合作開發,及先進技術不斷改進以增加高分辦率:DWL 66+的最小結構尺寸為300 nm,提供了極高的分辨率,優于或等于研發領域中最強大的光學光刻系統。

基本的DWL 66+包含創造和分析微結構所需的所有功能。它可以用于掩模板制作或直寫在任何涂有光刻膠的平坦材料上,多樣化選擇可提高靈活性,使系統適用于更多應用領域。



產品優勢

科研用激光直寫系統
具有多種直寫模塊,實現不同精度直寫需求
能于結構上進行灰度曝光

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